TOTOは、福岡県豊前市のTOTOファインセラミックス豊前工場の敷地内に、半導体製造装置向けセラミック製品の次世代品を量産する新たな生産施設を建設する。S造3階建て延べ3万6000㎡の規模で、投資額は約600億円。2029年度上期の生産開始を予定している。

　新設する生産棟は、セラミック事業の生産施設としては同社最大規模となる。主力製品の静電チャックとAD（エアロゾルデポジション）部材の次世代品を量産する。

　また、大分県中津市のTOTOサニテクノ中津工場とTOTOファインセラミックス中津工場でも、AD部材の次世代品生産に向けて約110億円を投資し、2028年度内の生産開始を目指す。

　静電チャックは、半導体製造装置内でシリコンウエハを固定する部材。AD部材は、セラミック微粒子を高速で基材に衝突させ、緻密なセラミック膜を形成する独自技術を用いた製品で、耐プラズマ性に優れる。AI半導体やデータセンター向けなど、先端半導体の需要拡大を見据え、生産能力を増強する。